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四探針檢測儀

產(chǎn)品簡介

四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號:HARTS-8

HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。

產(chǎn)品型號:HARTS-8
更新時間:2018-06-28
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:623
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)

四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀  型號:HARTS-8

HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了新電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

四探針檢測儀 術(shù)  標(biāo) :

 

 測量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 
 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 
 電阻:10-5~105 Ω; 

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);

恒源

 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;

四探針探頭基本標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

計算機(jī)通訊接口

 并口,速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。連接電腦使用時帶自動測量  能,自動選擇適合樣品測試電量程;

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;


配置 四探針測試儀主機(jī)、探針臺、四探針探頭、

 

 

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